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真空鍍膜機(jī)各部分的組成及工作原理
發(fā)布時(shí)間:2014-01-17 瀏覽:  次

     高真空鍍膜機(jī),鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的設(shè)備。其相關(guān)組成及各部件:機(jī)械泵、增壓泵、油擴(kuò)散泵、冷凝泵、真空測量系統(tǒng).


    以下由東莞愛加真空高級工程師為大家詳細(xì)介紹真空鍍膜機(jī)各部分的組成及工作原理。

一、真空主體——真空腔

    根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應(yīng)用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅(jiān)實(shí)等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。

 

二、輔助抽氣系統(tǒng)

    此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵低溫冷阱polycold”組成 排氣流程為:機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提,之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候,機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。

 

    排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分,主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三大部分組成。

 

    機(jī)械泵:也叫前級泵,機(jī)械泵是應(yīng)用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

 

    機(jī)械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應(yīng)用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用最廣泛,本文主要介紹)四種類型。

     機(jī)械泵常常被用來抽除干燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機(jī)械泵一般被用來抽除永久性的氣體,但是對水汽沒有好的效果,所以它不能抽除水汽。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉(zhuǎn)子、彈片等,轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不同心軸,象兩個(gè)內(nèi)切圓,轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片,兩彈片中間裝有彈簧,保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。

 

    本文就是東莞愛加真空工程師為大家所詳細(xì)介紹的真空鍍膜機(jī)組成及工作原理,更多專業(yè)知識,如有不明之處,請聯(lián)系東莞愛加真空。

 

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