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真空系統(tǒng)最大允許漏氣率計算方式
發(fā)布時間:2014-06-30 瀏覽:  次

  如果真空系統(tǒng)是一臺泵抽20個容器,真空是動態(tài)真空。系統(tǒng)抽速2500L/S,系統(tǒng)工作壓力需要達(dá)到100pa。每個容器檢漏時是獨立檢漏的。那么最大允許漏氣率是如何計算的?

  是用系統(tǒng)的最大允許漏率/20,因為漏率——Q漏=V(P2-P1)/t,其中Q漏: 系統(tǒng)漏率(Pa•l/s)V: 系統(tǒng)容積

  (l)P1: 真空泵停止時系統(tǒng)中壓強(Pa)

  P2: 真空室經(jīng)過時間t后達(dá)到的壓強(Pa)t: 壓強從P1升到P2經(jīng)過的時間(s)如果這20個腔室的狀態(tài)一致,即漏氣速率相同,那么,不管是聯(lián)在一起還是單獨隔開,它們在抽氣停止相同時間后達(dá)到的壓強是一致的。

  因此,漏率和腔室容量成正比,而不需要考慮壓強和時間的影響。

  當(dāng)測出整個真空系統(tǒng)的漏率后,單個系統(tǒng)的漏率便可以由容積比分別算出來。

  用公式表達(dá)如下:Q漏=V1(P2-P1)/t+V2(P2-P1)/t+V3(P2-P1)/t+...+V20(P2-P1)/t=Q1漏 + Q2漏 + Q3漏 + ...+Q20漏

  以上資料由愛加真空收集整理,僅供參考。






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