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真空鍍膜機(jī)中真空泵的作用
發(fā)布時(shí)間:2014-08-06 瀏覽:  次

  真空泵在真空鍍膜機(jī)中主要起到抽真空的作用,這是因?yàn)樵谶M(jìn)行真空鍍膜的時(shí)候,薄膜材料要先蒸發(fā)成為原子或分子,然后以較大的自由程作直線運(yùn)動(dòng),碰撞基片表面而凝結(jié),形成一層薄膜。

  如果鍍膜室里面殘余的氣態(tài)分子過(guò)多,那么就會(huì)和蒸發(fā)材料的原子或分子發(fā)生頻繁的碰撞,影響蒸發(fā)材料的原子或分子到達(dá)基片,形成薄膜。

  還有殘余氣態(tài)分子過(guò)多的話,可能會(huì)導(dǎo)致薄膜的純凈度和牢固度下降,同時(shí)導(dǎo)致蒸發(fā)材料容易被氧化而產(chǎn)生雜質(zhì)。

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