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如何獲得極限真空的方法分析?
發(fā)布時(shí)間:2014-09-05 瀏覽:  次

  極高真空的獲得是建立在超高真空技術(shù)之上的。

  在非常低的壓力下,維持泵的抽氣作用是個(gè)重要問題。由于多數(shù)真空泵在超高真空范圍內(nèi)抽速就開始降低,因此許多真空泵在極高真空范圍其抽氣作用已經(jīng)停止或者大大地減小了。

  選用一些在非常低的壓力下仍然有實(shí)際抽速的泵是能否獲得極高真空的關(guān)鍵。

  有些泵(如油獷散泵)的抽速并不減小,但由于工作介質(zhì)、材料放氣等因素,使得要獲得低于泵的極限壓力的工作壓力非常困難。

  為此使用這類泵時(shí),在利用它抽氣的同時(shí),也要用阱阻擋泵的返流。

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