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　　真空鍍膜設(shè)備的真空系統(tǒng)構(gòu)成：

　　目前在各種真空鍍膜設(shè)備上所配用的真空系統(tǒng)不但結(jié)構(gòu)各不相同，而且系統(tǒng)的抽氣特性也隨其工作對象的不同而有很大的差別，歸納起來主要有如下幾種系統(tǒng)：通用真空系統(tǒng)、超高真空系統(tǒng)、制冷機低溫泵系統(tǒng)。

　　一：通用真空系統(tǒng)

　　系統(tǒng)的主泵是油擴散泵，泵上方設(shè)有水冷擋板(阱)，主泵的前級泵為機械泵。這種系統(tǒng)的工作壓強在10-2～10-4Pa的范圍內(nèi)。

　　二：超高真空系統(tǒng)

　　在上述真空系統(tǒng)中加裝液氮冷阱或鈦泵，就可以使鍍膜室真空度提高到10-6Pa以上，從而得到超高真空系統(tǒng)。由于該系統(tǒng)仍采用油擴散泵，所以還是有油的系統(tǒng)。

　　鍍膜機采用分子泵系統(tǒng)可以獲得十分清潔的真空，有利于膜質(zhì)量的提高。分子泵抽速很大，可以縮短工藝周期。

　　三：制冷機低溫泵系統(tǒng)

　　使用低溫泵抽氣系統(tǒng)的真空鍍膜設(shè)備具有一系列優(yōu)點：無選擇性氣體、無碳?xì)浠衔镂廴?、具有較大的抽氣速率、可以獲得較低的極限壓力、操作簡單、蓬盤維護方便。

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