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離子真空泵檢漏知識(shí)
發(fā)布時(shí)間:2014-10-14 瀏覽:  次

         離子泵檢漏法的基本原理與電離真空計(jì)檢漏法類似,是利用示漏氣體進(jìn)入離子泵時(shí),泵電流將發(fā)生變化的特性進(jìn)行工作的,根據(jù)這種變化,可檢測(cè)出真空系統(tǒng)的漏孔,并可估算漏孔的大小。

  在使用帶有離子泵的抽氣系統(tǒng),或把被檢件接到離子泵抽氣系統(tǒng)上去時(shí),人們可以在任何時(shí)間、在壓力低于10-2 Pa的條件下,對(duì)系統(tǒng)或被檢件進(jìn)行檢漏。

  這種檢漏方法無(wú)須額外儀器,既靈敏又簡(jiǎn)便。其示漏氣體可選用氧、氬、氫等。

  檢漏裝置如圖離子泵檢漏裝置示意圖所示。首先將離子泵抽空,抽到較低壓力后關(guān)閉閥門2,使離子泵保持在較低壓力下工作。接入被檢件,用前置泵排氣,當(dāng)真空度達(dá)到1~10-1 Pa時(shí),關(guān)閉閥門4并打開閥門2,用離子泵抽氣。

  當(dāng)達(dá)到平衡壓力后,用示漏氣體(如Ar)噴吹可疑有漏孔處,如噴吹到漏孔處時(shí),示漏氣體就會(huì)進(jìn)人系統(tǒng),使離子泵的放電電流指示迅速上升,這是因?yàn)楸脤?duì)氬氣抽速較低的緣故。

  當(dāng)用氫或氧來(lái)檢漏時(shí),將會(huì)引起泵電流的下降,因?yàn)殡x子泵對(duì)這些氣體的抽速比對(duì)空氣的抽速大。

  這種方法的靈敏度為10-4~10-9Pa·m3·S-1。根據(jù)漏孔的大小,可以調(diào)節(jié)閥門2和4的開啟程度實(shí)現(xiàn)其檢漏效能。檢漏時(shí)須注意其靈敏度與壓力成反比,因此應(yīng)盡量在較低的平衡壓力下進(jìn)行檢漏;示漏氣體最好經(jīng)過(guò)凈化處理。

  該方法與氦質(zhì)譜檢漏儀相比較具有以下特點(diǎn):

  ①造價(jià)低,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,用一般無(wú)油系統(tǒng)即可;

  ②不存在燒斷燈絲的問(wèn)題;

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