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| 氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏優(yōu)缺點？ |
| 發(fā)布時間：2014-10-17 瀏覽： 次 |
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氦質(zhì)譜檢漏是指從真空腔體外部用氦氣吹向被檢測部位，然后由連接在真空腔體上的氦質(zhì)譜檢漏儀來檢測侵入的氦氣，這是目前最為常用的真空檢漏方式。 氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理如圖1所示。 燈絲發(fā)出的熱電子加速流向陽極，遇到氣體分子后使氣體分子離子化。在離子向離子收集極運動的途中設(shè)置磁場，則離子受洛倫茲力按圓形軌跡運動。 離子的質(zhì)量為m，電荷為e，則圓形軌跡的半徑和質(zhì)荷比m/e有關(guān)。 合理設(shè)置出口縫隙的位置，使m/e=4，即 He+能穿過縫隙，其他不同于氦質(zhì)荷比的離子因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的狹縫設(shè)置不同而無法穿過出口狹縫，因此氦質(zhì)譜檢漏儀只能檢測到一價氦離子。 使用氦質(zhì)譜檢漏儀，通常要求被檢測空間的真空度在10-3 Pa以下，檢測精度可達(dá)10-13 Pa·m3·s-1。  圖1 氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理圖 1—燈絲;2—陽極;3—磁場;4—狹縫;5—離子收集極;6—加速電極 氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。 靈敏度、反應(yīng)時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。 檢測氣體使用氦氣的主要原因如下： (1)對人體和自然環(huán)境沒有毒害; (2)不能燃燒，作業(yè)安全; (3)惰性氣體，和被檢測對象不會發(fā)生化學(xué)反應(yīng); (4)分子直徑和質(zhì)量小，容易穿過微小縫隙，便于檢漏; (5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài)，不會堵住微漏孔; (6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣; (7)氦氣在空氣中的存在量僅為5ppm，容易定點查清漏氣位置。 由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點所在。 當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜，或漏率極小時，可針對重點部位用塑料袋套住，然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣，實現(xiàn)對特定重點部位的檢漏。 一般情況下，真空檢漏時要重點關(guān)注以下部位： (1)法蘭接口部位; (2)焊接部位; (3)波紋管部位; (4)其他密封部位。 推薦閱讀 |
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