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陰極電弧技術(shù)在真空鍍膜設(shè)備中的運用
發(fā)布時間:2014-10-24 瀏覽:  次

  真空鍍膜機的陰極電弧技術(shù)是利用真空環(huán)境下的弧光放電,使固體陰極靶材蒸發(fā)、離化并通過等離子體的強化作用,飛向陽極基體表面沉積成膜的技術(shù)。

  正因為如此,陰極電弧技術(shù)具有極高的沉積速率。在含有惰性氣體或反應(yīng)氣體的真空環(huán)境下沉積在基體表面,具有高能量的離子束對于提高膜基結(jié)合力和打亂膜的柱狀晶結(jié)構(gòu)是非常有利的,從而也可大幅度改善膜的組織結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能。

  目前,各薄膜設(shè)備制造商通過對成膜原理和工藝的研究采用各種不同的措施來減少“液滴”的產(chǎn)生。

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