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電容式真空計原理
發(fā)布時間:2014-10-29 瀏覽:  次

  在薄膜真空計中,薄膜在壓力差作用下所產(chǎn)生的彈性變形量,可以采用機械的、光學(xué)的和電學(xué)的多種方法測量。由于采用電學(xué)方法,尤其是電容法,進行測量的靈敏度高,因此近年來利用電容法所制成的電容式薄膜真空計,已經(jīng)逐漸地代替了傳統(tǒng)的機械式薄膜真空計,獲得了廣泛的應(yīng)用。

  電容式薄膜真空計是由電容式薄膜規(guī)管(或稱電容式壓力傳感器)和測量線路兩部分組成。雙電容差動式薄膜規(guī)管的結(jié)構(gòu)如圖1所示。它包括兩個結(jié)構(gòu)完全相同的圓形固定電極和一個公用的膜片構(gòu)成的活動電極。

  活動電極薄膜將規(guī)管內(nèi)部空間分成相互密封的測量室和參考室,固定電極和活動電極薄膜構(gòu)成差動電容器,并作為電橋的兩個臂布置在線路中。

  當(dāng)活動電極處于中間位置時,兩個電容器的電容量相等;一旦活動電極由于壓差作用偏離中間位置時,如圖1中虛線所示的位置,則會出現(xiàn)其中一個電容器的電容量增加,而另一個電容器的電容量減少的現(xiàn)象。

  這時由于電容變化使電橋不再平衡,因而會產(chǎn)生輸出電壓,將該輸出電壓經(jīng)過放大器放大后,再由檢波器轉(zhuǎn)換成直流電壓后即可進行測量。不同的輸出電壓對應(yīng)不同的氣體壓力,這就是電容薄膜式真空計進行壓力測量的基本原理。

  目前這種真空計可根據(jù)測量電容方法的不同分成兩種結(jié)構(gòu),即零位法和偏位法。前者是一種補償法,具有較高的測量精度,目前大都作為低真空測量的標(biāo)準(zhǔn)真空計被計量部門所采用。

電容式薄膜真空計規(guī)管的結(jié)構(gòu)示意圖

  圖1 電容式薄膜真空計規(guī)管的結(jié)構(gòu)示意圖

  1-固定電極:2-膜片活動電極

  一種只使用單側(cè)電容的零位法電容式薄膜真空計的結(jié)構(gòu)原理如圖2所示,它是由電容式薄膜規(guī)管測量電橋電路,直流補償電源,低頻振蕩器、低頻放大器、相敏檢波器和指示儀表等元件所組成。

  在圖2中的電容式真空計規(guī)管中間放置一張金屬彈性膜片,在膜片的一側(cè)裝有一個固定電極,當(dāng)膜片兩側(cè)的壓力差為零時,固定電極與膜片形成一個靜態(tài)電容C0,并與線路中電容C1串聯(lián)后作為測量電橋的一條橋臂后,再與電路中的電容C2、C3和C4與C5的串聯(lián)電容組成其他的三條橋臂。

零位法薄膜真空計的結(jié)構(gòu)原理圖

  圖2 零位法薄膜真空計的結(jié)構(gòu)原理圖

  由于金屬膜片1將薄膜真空規(guī)管中分為A、B兩室并將A室與被測真空系統(tǒng)相連接,B室與壓力為P0的高真空系統(tǒng)(P0<10-3 Pa)相連接。在兩室的連通管道上設(shè)置高真空閥門7。測量時,先將閥門7打開,用高真空抽氣系統(tǒng)將規(guī)管內(nèi)膜片兩側(cè)的空間抽至參考壓力Pb。同時調(diào)節(jié)測量電橋電路,使之平衡,即指示儀表指零。

  然后關(guān)閉閥門7,測量室A接通被測真空系統(tǒng)。

  當(dāng)被測壓力P1>Pb時,由于規(guī)管中的壓力差為P1- Pb,膜片發(fā)生應(yīng)變引起電容C0改變,破壞了測量電橋電路的平衡,指示儀表上亦有相應(yīng)的指示。

  調(diào)節(jié)直流補償電源電壓對電容C0充電,使其靜電力與壓差相等,此時,電橋電路重新達到平衡,指示儀表又重新指零。

  根據(jù)補償電壓的大小,就能得出被測壓力P1。故有:

  P1 - Pb = KU2

  式中

  P1-被測壓力;

  Pb-參考壓力;

  U-補償電壓;

  K-規(guī)管常數(shù),K=C0/d0,C0和d0分別為固定電極與膜片平衡狀態(tài)下的靜態(tài)電容和間距。

  當(dāng)P1 》Pb時,測量結(jié)果就是絕對壓力,即

  P1 = KU2

  單電容零位法電容式薄膜真空計的測量范圍為10-1~101Pa,其規(guī)管常數(shù)K可通過校準(zhǔn)得到。而差動式雙電容薄膜真空計,不但提高了電容式薄膜真空計的測量精度,而且擴大了量程范圍,其測量下限可達到10-3Pa。

  電容式薄膜真空計為全壓計,即所測結(jié)果是氣體與蒸氣的全壓強。同時具有測量結(jié)果與氣體成分無關(guān)、測量精度高(一般 ≤(0.1~2)%)、反應(yīng)速度快(<2~100ms)、溫度影響小和測量范圍寬的特點。

  其測量下限可達l0-3~10-2Pa。由于其性能穩(wěn)定,重復(fù)性好,目前已被用做標(biāo)準(zhǔn)真空計。其響應(yīng)時間快,抗過載能力強,結(jié)構(gòu)牢固,使用方便,非常適合于對氧、水蒸氣及油蒸氣等氣體壓力的測量。因此是比較理想的一種真空計。

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