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蒸發(fā)鍍膜與磁控濺射的區(qū)別是怎樣的?
發(fā)布時(shí)間:2014-12-02 瀏覽:  次

  蒸發(fā)鍍膜是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或者離子形式被蒸發(fā)出來(lái),且沉降在基片表面,通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。

  蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是非常容易保證,具體能調(diào)控因素同上,但因?yàn)樵碛邢蓿瑢?duì)非單一祖分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。

  濺射鍍膜能簡(jiǎn)單理解為利用電子或者高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或者離子形式被濺射出來(lái),且最終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過(guò)程,最終形成薄膜。

  濺射鍍膜又分成許多種,和蒸發(fā)鍍膜的不同之處就是在于濺射速率將成為主要的參數(shù)之一。

  濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld,組分均勻性非常容易保持,而原子尺度的厚度均勻性相對(duì)比較差(因?yàn)槭敲}沖濺射),晶向(外沿)生長(zhǎng)的控制也比較一般。

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