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真空系統(tǒng)漏氣率如何降低?
發(fā)布時(shí)間:2014-12-03 瀏覽:  次

  真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵,真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否,將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。

  1、盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角,要光滑過(guò)渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。

  2、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道,采用圓弧過(guò)渡,使氣路暢通無(wú)阻,但要考慮清洗清掃的方便性。

  3、認(rèn)真設(shè)計(jì)真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu),使氣路暢通,避免氣路堵塞。

  4、打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面,表面越光亮就越不易氣體吸附,越容易獲得真空。

  5、盡可能減小真空室的體積,縮短管路系統(tǒng)。

  密封形式的選擇

  密封形式可根據(jù)所需真空度的高低及實(shí)際工作需要選擇密封形式。

  密封部位進(jìn)行水冷后,其溫度在80oC左右,個(gè)別處溫度可達(dá)100oC以上)。所以,要選擇比較理想的密封圈材料。

  用于真空密封橡膠材料,除要求具有光潔表面、無(wú)劃傷、無(wú)裂紋外,還要求有低的滲透率和出氣率,良好的耐熱性耐油性,同時(shí)要有一定的強(qiáng)度、硬度和彈性等。

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