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真空鍍膜設(shè)備常用真空計(jì)介紹
發(fā)布時(shí)間:2014-12-16 瀏覽:  次

  電阻真空計(jì)(又叫皮喇尼真空計(jì)):

  它主要由電熱絲、外殼和支架構(gòu)成,主要是根據(jù)在低壓下,氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強(qiáng)成正比的方式工作的。上面開口處與被測(cè)真空系統(tǒng)相連接,熱絲采用電阻溫度系數(shù)大的金屬絲做成,兩支支架引線與測(cè)量線路連接。

  當(dāng)壓強(qiáng)降低的時(shí)候,由于氣體熱傳導(dǎo)散失的熱量減小,因此當(dāng)熱絲加熱電流穩(wěn)定時(shí)候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測(cè)量熱絲電阻值的大小來間接測(cè)量壓強(qiáng),有以下關(guān)系:

  略 這就是電阻真空計(jì)的工作原理,此真空計(jì)的測(cè)量范圍是:100-10-1帕之間,目前采用的型號(hào)是WP-02

  磁控放電真空計(jì):

  工作原理:在放電開始時(shí),由于空間游離電子向陽極運(yùn)動(dòng)時(shí),在正交電磁場(chǎng)作用下,電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進(jìn),又因?yàn)殛枠O是框形,故電子不一定第一次就碰上陽極,而是穿過陽極,然后受到對(duì)面陰極的拒斥,又復(fù)返回。

  這樣反復(fù)多次才可能打上陽極。由于電子路程大大加長(zhǎng),故碰撞及電離的分子數(shù)增加,使得在較低壓強(qiáng)(10-4帕以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。

  目前比較多的型號(hào)有PKR251、GI-PARY

  放電管真空計(jì):在玻璃管中封入兩個(gè)金屬電極,在其上加上數(shù)千伏的直流高電壓,在一定的壓強(qiáng)范圍內(nèi)(1*10-3~2*10托)內(nèi)就能引起自持放電,通過放電顏色來判定其真空度

  目前為止這種真空計(jì)已經(jīng)很少使用,因?yàn)槠湔`差大,容易損壞,而且壽命不長(zhǎng)。

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