欧美久久丝袜,久久精品日产精品99国产精偷,国产a级毛片,国产成人精品综合在线观看

            
當(dāng)前位置: 首頁 > 技術(shù)中心

技術(shù)中心

氧化釩鍍膜薄膜技術(shù)
發(fā)布時(shí)間:2015-01-06 瀏覽:  次

  氧化釩薄膜及其在微電子和光電范疇在的使用已成為國(guó)際上新穎功用資料研討熱門之一。

  因氧化釩薄膜具有高的電阻文檔系數(shù)(TCR)值,其阻值隨入射輻射導(dǎo)致的溫升有十分活絡(luò)的改動(dòng),微測(cè)輻射熱計(jì)正是利用了這一特性,因而氧化釩薄膜在紅外勘探和紅外成像方面具有廣泛的使用遠(yuǎn)景。

  因而,優(yōu)化技術(shù)參數(shù)制備出高功能的氧化釩薄膜是亟待解決的課題。本論文在低溫下以高純金屬釩作靶材,用直流磁控濺射的辦法制備出了氧化釩薄膜。

  經(jīng)過規(guī)劃正交試驗(yàn),系統(tǒng)剖析了氬氣和氧氣的流量比,濺射功率,作業(yè)壓強(qiáng),基地溫度對(duì)氧化釩薄膜TCR的影響,取得了這四個(gè)要素對(duì)TCR值遍及趨勢(shì)。試驗(yàn)結(jié)果標(biāo)明:當(dāng)Ar與O2的份額為100:4,功率為120W,作業(yè)壓強(qiáng)為2Pa時(shí),所取得薄膜TCR值遍及較大。

  因?yàn)闊崽幚砟軌蛳∧ぴ诔良胚^程中發(fā)生的內(nèi)應(yīng)力,完成晶體結(jié)構(gòu)的重構(gòu),然后改進(jìn)薄膜機(jī)械、晶體結(jié)構(gòu)和電學(xué)功能等多方面功能。試驗(yàn)系統(tǒng)研討了熱處理溫度和熱處理時(shí)刻對(duì)薄膜功能的影響。

  退火溫度和退火時(shí)刻對(duì)氧化釩薄膜TCR有重要影響,得到了氧化釩薄膜退火后TCR與退火時(shí)刻和退火溫度的聯(lián)系曲線。

  結(jié)果標(biāo)明,氧化釩薄膜的TCR值經(jīng)熱處理都在-2%/K鄰近,最高的可達(dá)-3.6%/K。

  運(yùn)用掃描電子顯微鏡(SEM)和X射線能譜儀(XPS)對(duì)熱處理后薄膜進(jìn)行了進(jìn)一步的剖析,研討標(biāo)明選用直流磁控濺射制備辦法和熱處理能夠制備出氧化釩薄膜,晶粒尺度在納米數(shù)量級(jí)。

  運(yùn)用XPS剖析薄膜成分,發(fā)現(xiàn)Ar和02份額是影響氧化釩薄膜成分的最主要要素。

 

推薦閱讀

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)介紹

NCVM不導(dǎo)電鍍膜技術(shù)分析






  上一篇:電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)介紹

  下一篇:EMI防電磁干擾鍍膜技術(shù)分析

  
国产免费成人黄片| 国产精品原创AV在线播放| 在线一区 中文 无码| 香蕉夜色| 色呦色呦色呦呦精品| 国产欧美日产久久| 久久成人精品视频| 6080亚洲国产精品| 色香亚洲熟女| 成人丁香五月婷婷| 国产免费久久精品99RE丫丫| 久久新热| 久久精品人人人人人人| 99日韩久久50p| 丁香婷婷五用| 提供少妇人妻精品无码一区二区三区 | 精品a天堂| 日韩欧美三级在线| 日韩精品极品视频在线观看免费| 国产盗摄经典盗摄经典| 中文字暮人妻| 人妻中文av| 日韩aaa级| 三上悠亚一区二区三区| 日韩av无码av加勒比不卡| 特大黑人视频在线观看| 久久精品无码一区二区1-| 思欲av成人免费影院| 美乳精品视频在线观看| 欧美日韩午夜一区二区| 精品少妇精品久久久| 无码综合图色| 精品无码av一区二区三区网址| 亚洲东京热无码素人久久久| 无套进入极品少妇| 亚洲精品国产精品国自产在线| 色无码| 亚洲AV婷婷五月产AV中文| 悠悠色影视| 欧美zc0o人与善交| 99久久国产综合精品无码|