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　　展覽時間：2022年5月26-28日 

　　參展范圍 

　　1、真空獲得設備：旋片真空泵、油擴散泵、羅茨真空泵、油增壓泵、渦輪分子泵、分子篩吸附泵、鈦升華泵等真空獲得設備;

　　2、真空應用設備：各種真空冶金設備與熱處理設備、真空電鍍設備、真空冷凍干燥設備及包裝設備等;

　　3、真空鍍膜設備：包括各種靶、靶材、消耗材料及各種電源;真空鍍膜加工;

　　4、納米科技與裝備、納米材料與納米器件;

　　5、真空閥門及真空零部件：包括各種真空電子元器件、真空系統附件及真空動、靜密封器件等;

　　6、真空測量與校準儀器、儀表及真空檢漏儀器;

　　7、真空材料、真空泵油及真空工程配套設備;

　　8、各種表面儀器(AES、SEM、XPS、SIMS等)及分子束外延設備(MBE)。

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