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電容式薄膜真空計(jì)是如何工作的?
發(fā)布時(shí)間:2024-10-05 瀏覽:  次

  根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計(jì)稱為電容式薄膜真空計(jì),它由電容式薄膜規(guī)管(又稱為電容式壓力傳感器)和測量儀器兩部分組成。

  根據(jù)測量電容的不同方法,儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補(bǔ)償法,具有較高的測量精度。目前在計(jì)量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。

零位法薄膜真空計(jì)的結(jié)構(gòu)原理圖

 

  圖20 零位法薄膜真空計(jì)的結(jié)構(gòu)原理圖

  圖20示出了零位法電容式薄膜真空計(jì)的結(jié)構(gòu)原理圖。它由電容式薄膜規(guī)管、測量電橋電路、直流補(bǔ)償電源、低頻振蕩器、低頻放大器、相敏檢波器和指示儀表等組成。

  電容式薄膜規(guī)管的中間裝著一張金屬彈性膜片,在膜片的一側(cè)裝有一個(gè)固定電極,當(dāng)膜片兩側(cè)的壓差為零時(shí),固定電極與膜片形成一個(gè)靜態(tài)電容C0,它與電容C1串聯(lián)后作為測量電橋的一條橋臂,電容C2、C3和C4與C5的串聯(lián)電容組成其它三條橋臂。

  金屬彈性膜片將薄膜真空規(guī)管隔離成兩個(gè)室,分別為接被測真空系統(tǒng)的測量室和接高真空系統(tǒng)(pb<10-3Pa)的參考壓力室。在這兩個(gè)室的連通管道上設(shè)置一個(gè)高真空閥門7。測量時(shí),先將閥門7打開,用高真空抽氣系統(tǒng)將規(guī)管內(nèi)膜片兩側(cè)的空間抽至參考壓力pb。同時(shí)調(diào)節(jié)測量電橋電路,使之平衡,即指示儀表指零。

  然后,關(guān)閉閥門7,測量室接通被測真空系統(tǒng)。當(dāng)被測壓力Pl>Pb時(shí),由于規(guī)管中的壓力差p1-pb,膜片發(fā)生應(yīng)變引起電容C0改變,破壞了測量電橋電路的平衡,指示儀表上亦有相應(yīng)的指示。調(diào)節(jié)直流補(bǔ)償電源電壓對電容C0充電,使其靜電力與壓差相等,此時(shí),電橋電路重新達(dá)到平衡,指示儀表又重新指零。根據(jù)補(bǔ)償電壓的大小,就能得出被測壓力p1,故有

  p1-pb=KU2 (12)

  式中p1——被測壓力

  pb——參考壓力

  U——補(bǔ)償電壓

  K——規(guī)管常數(shù),其值K=Co/d0,Co和d0分別為固定電極與膜片在平衡狀態(tài)下的靜態(tài)電容和間距。

  當(dāng)p1》p0時(shí),測量結(jié)果就是絕對壓力,即

  p1=KU2 (13)

  電容式薄膜真空計(jì)測量范圍為10-1~101Pa,其規(guī)管常數(shù)K可通過校準(zhǔn)得到。

  近年來,電容式薄膜真空計(jì)取得了重大進(jìn)展,新型的雙電容式薄膜真空計(jì)的問世,提高了該類真空計(jì)的精度,擴(kuò)展了測量范圍,使其測量下限可達(dá)lO-3Pa。

  單側(cè)雙電容薄膜真空計(jì)具有靈敏度高、氣體的介電常數(shù)不變、壓力讀數(shù)完全不受氣體成分影響、反應(yīng)速度快等特點(diǎn)。如將其規(guī)管參考室內(nèi)加置消氣劑并抽至≤lO-5Pa,就可測量≥lO-3pa的絕對壓力。

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