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工具/刀具/DLC超硬涂層設(shè)備

先進(jìn)薄膜

先進(jìn)的電影架構(gòu) - 多層膜,納米層,納米復(fù)合材料

 

    野馬真空系統(tǒng)(MVS)具有顯著的經(jīng)驗(yàn),在開發(fā)和制造的產(chǎn)業(yè)規(guī)模PVD沉積室下一代摩擦膜系統(tǒng),使厚的多層,精細(xì)的納米層或納米復(fù)合結(jié)構(gòu)。

 

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CSM儀器編號:N.Randall                       多諾霍等(1995)                   魯?shù)热耍?005年)

 

    MVS已策略性地開發(fā)了一個(gè)靈活的沉積范圍個(gè)別層通常為微米厚(訂購)濺射多層涂層使用,HIPIMS或轉(zhuǎn)向電弧蒸發(fā)技術(shù),適用范圍廣,要求苛刻的應(yīng)用,包括侵蝕/耐磨性和增強(qiáng)高速銑削過程能力切削加工。 例子包括金屬/金屬氮化物沉積或金屬氮化物/金屬氮化物和硬涂層+低摩擦面涂架構(gòu)實(shí)現(xiàn)順序要利用適當(dāng)?shù)某练e源切換期間適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)氣體流量的控制開關(guān)來實(shí)現(xiàn)的架構(gòu)。

 

 

    最近通過精確控制在反應(yīng)濺射和蒸發(fā)沉積速率從不同的源材料,精確控制基板的旋轉(zhuǎn)頻率和源材料的反應(yīng)行為的理解,MVS已另外開發(fā)能力,以一系列精美的共沉積,納米分層(典型的重復(fù)周期2-10nm的)結(jié)構(gòu)薄膜,在產(chǎn)業(yè)規(guī)模和傳統(tǒng)工藝相比,沒有生產(chǎn)力的損失。 量身定制,并顯著提高機(jī)械(硬度,韌性等),熱和摩擦學(xué)性能比傳統(tǒng)的單片結(jié)構(gòu)薄膜,這些薄膜可以表現(xiàn)。

 

MVS摩擦學(xué)系統(tǒng)也可以被配置為提供,通過以往的過渡金屬基陶瓷的硬質(zhì)材料,而與適當(dāng)?shù)墓矁r(jià)鍵,例如Si 3 N 4或BN氮化物物種的共沉積,制造能力的納米復(fù)合結(jié)構(gòu)的硬質(zhì)涂層的反應(yīng)沉積。


  
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