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真空泵維修

離子泵維修

1、在低壓下,當(dāng)陰極和陽極間加上高壓時(shí),引起場(chǎng)致發(fā)射。


2、在電、磁場(chǎng)作用下電子作螺旋運(yùn)動(dòng)。


3、電子與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子和二次電子,引起雪崩效應(yīng)。正離子轟擊鈦陰極,濺散出鈦原子落在陽極筒上,形成新鮮鈦膜,也有的落在陰板外圍區(qū)(β區(qū))。


4、活性氣體與新鮮鈦膜反應(yīng)形成化合物,化學(xué)吸附在陽極筒內(nèi)壁。隋性氣體被電離,離子在電場(chǎng)作用下轟擊陰極過程中被排出。其排除方式為:
1)離子直接打入陰極表面內(nèi)或β區(qū),斜射的離子切入陰極表面,離子和鈦一起被掀掉,埋葬在β區(qū),
2)離子沒打入陰極內(nèi),從陰極得一電子恢復(fù)為中性原子或分子,反射到陽極內(nèi)表面被埋掉,這叫“荷能中性粒子反射”。


5、對(duì)于氫,由于其質(zhì)量小,氫離子轟擊鈦板的濺射產(chǎn)額甚低,氫離子 H2+ 或 H+ 打到鈦板上與電子復(fù)合變成H原子,然后擴(kuò)散入鈦的晶格內(nèi),形成TiH固溶體而被排出。常溫下這種固溶體中H2的濃度為0.05%,當(dāng)溫度高于250oC以上時(shí),便又開始分解放出氫。鈦大量吸氫后。由于放熱反應(yīng)鈦板溫度上升,達(dá)到250oC以后,除重新釋放氫之外并導(dǎo)致鈦板晶格膨脹造成龜裂。通常需加大鈦板的散熱能力來改善濺射離子泵對(duì)氫的排除能力。要提高對(duì)氫的抽速,需保持鈦板表面清潔,選用晶格常數(shù)較大的β-Ti或鈦合金作為陰極板,或引入與氫可比擬的氬含量。因氬的濺散產(chǎn)額高,可提高對(duì)氫的抽速。


  
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