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真空計(jì)怎麼校準(zhǔn)?
發(fā)布時間:2024-10-14 瀏覽:  次

  真空計(jì)校準(zhǔn)是真空測量的基礎(chǔ),是研究和發(fā)展真空測量的有力工具。

  它不但能使已有的相對真空計(jì)統(tǒng)壹在可靠的標(biāo)準(zhǔn)之下,而且還可對發(fā)展中的真空計(jì)進(jìn)行性能的研究。

  所謂“真空計(jì)校準(zhǔn)”就是對相對真空計(jì)進(jìn)行“刻度”。真空計(jì)刻度是在壹定條件下對壹定種類氣體進(jìn)行的,從而得到校準(zhǔn)系數(shù)或刻度曲線。因此氣體種類的改變或工作條件的變化,原校準(zhǔn)曲線就不能使用,必須重新進(jìn)行校準(zhǔn)。同壹臺測量儀器,更換規(guī)管時校準(zhǔn)曲線也會發(fā)生變化。由此觀之,對相對真空計(jì)校準(zhǔn)是非常必要的,又要定期進(jìn)行,否則會產(chǎn)生超過允許的測量誤差。

  校準(zhǔn)是對真空計(jì)整體而言,既包括所謂的壹次儀表的真空規(guī)管,又包括所謂的二次儀表的電子線路。通常是二者合在壹起進(jìn)行校準(zhǔn),也可以分別對真空計(jì)規(guī)管和電子線路進(jìn)行校準(zhǔn),而後者是較為理想的。

  真空計(jì)校準(zhǔn)的前提是必須有標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)和校準(zhǔn)系統(tǒng),並通過壹定方法進(jìn)行。

  真空標(biāo)準(zhǔn)有絕對真空計(jì)、標(biāo)準(zhǔn)相對真空計(jì)(或副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì))和絕對校準(zhǔn)系統(tǒng)。所有絕對真空計(jì)均可作為真空標(biāo)準(zhǔn)。而以絕對真空計(jì)為基準(zhǔn),將經(jīng)過壓力衰減後精確計(jì)算出的再生低壓力作為標(biāo)準(zhǔn)的真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)稱為絕對校準(zhǔn)系統(tǒng)。

  如膨脹法校準(zhǔn)系統(tǒng)應(yīng)用靜力熱平衡,其理論基礎(chǔ)為理想氣體的玻意耳定律,把U型管壓力計(jì)校準(zhǔn)下限延伸至高真空(10-4Pa)。穩(wěn)定性和精度高的真空計(jì),經(jīng)過校準(zhǔn)之後,可作為次級標(biāo)準(zhǔn),對工作真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn),稱這種真空計(jì)為副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)。

  在計(jì)量學(xué)中,所謂標(biāo)準(zhǔn)是按精度等級排列的壹個體系。國家技術(shù)監(jiān)督局批準(zhǔn)並於1990年5月1日實(shí)施“真空計(jì)量器具檢定系統(tǒng)"(JJG2022—89)。根據(jù)當(dāng)前真空技術(shù)發(fā)展水平,真空獲得和真空測量範(fàn)圍,已從大氣壓(105Pa)至極高真空(< lO-10Pa)。但工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中,實(shí)際廣泛應(yīng)用的壓力範(fàn)圍為10-8~105Pa。

  為了保證該範(fàn)圍內(nèi)真空度量值的準(zhǔn)確壹致,制定了檢定系統(tǒng),進(jìn)行真空度量值傳遞,檢定各級真空計(jì)時器具。該檢定系統(tǒng)主要適用於lO-8~lO5Pa範(fàn)圍內(nèi),計(jì)量、科研和工業(yè)部門使用的真空標(biāo)準(zhǔn)裝置和真空計(jì)的檢定。

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