高功率脈沖磁控濺射（HIPIMS）

    野馬真空系統(tǒng)（MVS）有在產(chǎn)業(yè)規(guī)模PVD沈積室，包括大面積HIPIMS陰極能夠提供廣泛的增強部件的耐磨性和性能的獨特結(jié)構(gòu)的硬盤，摩擦學塗料生產(chǎn)的重要經(jīng)驗。

    在2005年和2007年，MVS是在北美的第壹個商業(yè)組織接受和使用電源（Chemfilt / SINEX的Huettinger）工業(yè)HIPIMS濺射應(yīng)用。 自該日起顯著的進步和研發(fā)，導致其日常規(guī)範中的各種金屬和陶瓷的商業(yè)塗料應(yīng)用。

    該技術(shù)適用於非常高的功率密度的脈沖（> 1000Wcm -2，可選擇的脈沖持續(xù)時間50-200μS和100-500Hz的頻率）的磁控管陰極產(chǎn)生異常高的等離子密度為10 19米-3或更大的順序。 這種脈沖的功率密度可以顯著更高水平電離（最多約80％）比通常出現(xiàn)在常規(guī)的磁控濺射工藝（約1-2％）釋放的靶表面的金屬物種。

樓盤，等Helmersson固體薄膜，513，1-2，2006，1-24。

    這些特性可以被用於產(chǎn)生顯著的變化，膜的密度和優(yōu)選的生長方向/方位。 HIPIMS薄膜表現(xiàn)出非常光滑的表面，而不創(chuàng)造過量輻射采暖或宏觀粒子摻入通常使用時如發(fā)現(xiàn)電弧蒸發(fā)源。 這導致致密，粘附膜，即使在非常低的襯底溫度是從宏觀生長缺陷。