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鍍膜機(jī)常見故障及處理方法
發(fā)布時(shí)間:2019-04-11 瀏覽:  次

  檢測(cè)不到掩膜夾具翻轉(zhuǎn)信號(hào):

  1、檢查翻面信號(hào)源位置

  2、將翻面輸入信號(hào)人工短接,使用翻面檢測(cè)功能,計(jì)算機(jī)能檢測(cè)到信號(hào)時(shí),證明問題在翻面控制開關(guān)上,根據(jù)情況做相應(yīng)處理。檢測(cè)不到信號(hào)首先檢查線路,然后更換控制卡。

  掩膜夾具翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定:

  1、檢查翻板的初始位置是否符合時(shí)機(jī)

  2、檢測(cè)翻面控制開關(guān)工作是否穩(wěn)定,可用指針萬用表跟蹤監(jiān)測(cè)。

  3、檢查翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)動(dòng)作是否靈活可靠

  4、檢查翻面信號(hào)次數(shù)設(shè)置

  5、檢查旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)是否與鐘罩內(nèi)壁有摩擦現(xiàn)象

  6、檢測(cè)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性

  在同一掩膜夾具頻率散差大:

  1. 檢查晶片本身是否散差大

  2. 檢查膜層修正板位置是否變動(dòng),重新調(diào)節(jié)修正板

  3.檢查一下?lián)醢逶陂_、關(guān)時(shí)是否完全遮擋住鉬舟

  4.檢查一下轟擊環(huán)是否完遮擋住鉬舟

  5、檢查鉬舟使用是否符合要求,要采用圓形鉬舟

  鍋與鍋之間頻率散差大:

  1、觀察一下監(jiān)控片是否存在跳頻現(xiàn)象

  2、反復(fù)測(cè)量統(tǒng)一監(jiān)控片觀察振蕩器的穩(wěn)定性(不超過75Hz)

  3、檢查冷卻水是否通暢

  4、檢查鉬舟使用是否符合要求,要采用圓形鉬舟

  5、監(jiān)控片選用是否符合要求,建議采用我公司的監(jiān)控片

  鍍膜頻率不停止:

  1、檢查頻率參數(shù)設(shè)置是否正確

  2、鉬舟電流表是否有指示

  3、鉬舟中是否有銀

  4、監(jiān)控片是否跳頻

  5、修正系數(shù)是否錯(cuò)誤

  6、在出現(xiàn)非正常退后是否更換過監(jiān)控片

  測(cè)試不到頻率:

  1、更換一下監(jiān)控片

  2、檢查一下測(cè)試彈片是否變形

  3、用一只5MHz的晶體直接插入振蕩器輸入端測(cè)量頻率,若有頻率證明是探頭問題,若無頻率,用計(jì)數(shù)器測(cè)量一下振蕩器輸出頻率是否異常,無正常輸出證明振蕩器有問題,有正常輸出但計(jì)算機(jī)無顯示證明控制卡有問題

  控制閥均不動(dòng)作:

  1. 檢查5V電源是否有輸出,是否接好

  2. 檢查固態(tài)繼電器板上電源公共端是否有電

  控制閥個(gè)別不動(dòng)作

  1、檢查相應(yīng)的固態(tài)繼電器是否有輸出

  未達(dá)到真空度就工作:

  1、數(shù)字真空計(jì)出現(xiàn)不正常數(shù)字,且30秒內(nèi)無變化,例如0.00-4(國產(chǎn)真空計(jì)常見)現(xiàn)象

  2、指針表在真空計(jì)打開30秒后,黑色指針仍不擺動(dòng)

  監(jiān)控片使用原則

  1、監(jiān)控片表面要清洗干凈

  2、監(jiān)控片要隨用隨鍍,空氣中暴露12小時(shí)以上禁止使用

  3、監(jiān)控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用

  4、使用過程中要記錄好使用批次,嚴(yán)禁出現(xiàn)新舊混用

  5、監(jiān)控片反復(fù)使用壽命為3次。

  本文由真空鍍膜機(jī)廠家愛加真空收集整理自互聯(lián)網(wǎng),僅供學(xué)習(xí),版權(quán)歸原作者所有!






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