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真空鍍膜機(jī)離子泵維修要點(diǎn)?
發(fā)布時(shí)間:2023-04-10 瀏覽:  次

  離子泵是一種可以應(yīng)用于超高真空下的清潔無(wú)油真空泵,以下離子泵維修內(nèi)容僅供學(xué)習(xí)。

  一、關(guān)于烘烤。

  濺射離子泵如果長(zhǎng)期暴露于大氣中,會(huì)因?yàn)楸脙?nèi)的鈦沉積層吸附水汽,導(dǎo)致泵啟動(dòng)困難、極限壓力升高、抽速變小等問(wèn)題,因此啟動(dòng)前需要經(jīng)過(guò)烘烤。烘烤時(shí)需要將磁鋼、各種引線(xiàn)、橡膠密封圈等拆下,緩慢升溫至250~300℃,然后恒溫12小時(shí),并且保證烘烤時(shí)泵內(nèi)真空度不低于0.1Pa。

  二、清洗處理。

  離子泵如果受過(guò)油蒸氣或者其他有機(jī)物污染,陰極板氧化或大量排過(guò)氫氣,會(huì)影響到它的真空度。這時(shí)一般會(huì)在烘烤除氣后再進(jìn)行氬清洗處理。

  過(guò)程是用氬離子轟擊鈦板,將陰極板上的污染物或溶解在陰極板里的氫轟擊出來(lái),再被大量濺射的鈦所吸收或埋葬掉。充氬壓力維持在10-2Pa量級(jí)或觀(guān)察離子流維持早10~200mA之間擺動(dòng)。整個(gè)清洗過(guò)程大約在1~2小時(shí)。

  三、使用壓力與壽命。

  離子泵的濺散率取決于轟擊的離子數(shù)與能量,壓力越高,陰極濺射越劇烈,因此它的使用壽命是與工作壓力成法比的。所以雖說(shuō)濺射離子泵的工作壓力范圍可以從1Pa到10-10Pa,但為提高濺射離子泵的使用壽命,盡量不要在10-2Pa以上的壓力范圍下工作。

  以上內(nèi)容由真空鍍膜機(jī)廠(chǎng)家愛(ài)加真空收集整理自網(wǎng)絡(luò),僅供學(xué)習(xí)和參考!






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